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建设目标:
1. “形貌-结构-成分”表征同步化
2. “结构-性能”表征一体化
3. “性能”表征自动化
4.集成式同步探测——SE/BSE-EBSD-EDS多探头立体式布局、数据联动采集及后期处理、可视化
5.原位纳米机械手操控——位置精确操控:<5nm
6.探针式测量——导电、导热、强度/模量
7.高通量自动化测量——晶界电导、热导、纳米应力分析(+CL)
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